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HR50-IIA2

HR50-IIA2

性能參數(shù)

大氣壓70~106
工作臺(tái)面中心振動(dòng)靜位移μm(rms)2.9
主過濾器類別ULPA
人員保護(hù)1~2
主過濾器效率99.9995%@0.12μm
下降氣流速度(m/s）0.28
流入氣流速度(m/s）0.55

電源參數(shù)

頻率50Hz±1Hz

耗電量

噪音

規(guī)格

工作室內(nèi)表面材質(zhì)SUS304
腳輪有

功能參數(shù)

過濾器阻塞報(bào)警有
過濾器破損報(bào)警有
前窗玻璃防紫外線有

 


上一個(gè)： HR900-IIB2
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