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大型等離子清洗機
大型等離子清洗機
V1000/1000X1000XS
大型等離子清洗機特點：
能有針對性的制作一些特殊電極，提高生產效率。
高可靠性RF電源，高精度調諧裝置。
大型等離子清洗機用途:
硅晶圓的灰化及蝕刻IC封裝、BGA/CSP基板處理電子半導體零部件和電子材料的干式清洗物體表面氧化物和有機物的除去鍍膜、烤漆前的清洗，增強膜層的附著力
能有針對性的制作一些特殊電極，提高生產效率。
高可靠性RF電源，高精度調諧裝置。
大型等離子清洗機用途:
硅晶圓的灰化及蝕刻IC封裝、BGA/CSP基板處理電子半導體零部件和電子材料的干式清洗物體表面氧化物和有機物的除去鍍膜、烤漆前的清洗，增強膜層的附著力
大型等離子清洗機規(guī)格：
| 型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等離子模式 | DP/RIE | DP/RIE | |
| 振動頻率 | 13.56MHz | ||
| 反應氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)（充填氣路另行安裝） | ||
| 安全裝置 | 門開關、側板互鎖機構、緊急停止開關 | ||
| 輸出功率 | 1000W | 1000W | 1500W |
| 有效尺寸(W×D) | 280×280mm | 300×300mm | 400×375mm |
| 油回旋真空泵 | 670&1000L/min | 670&1500L/min | 1000&1500L/min |
