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等離子灰化機(jī)

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等離子灰化機(jī)

PDC200/210/510
等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：
RIE模式標(biāo)配(DP切換為選購(gòu))等離子的均應(yīng)性高操作簡(jiǎn)單的液晶觸摸屏控制面。

等離子清洗機(jī)用途：
CSB/BGA/COB基板的等離子處理有機(jī)膜和金屬氧化膜的除去印刷電路基板的干洗界面活性處理

型號(hào)PDC200PDC210PDC510
模式RIE模式（DP選配）DP/RIE切換方式
電極制造平行平板電極（固定）
頻率13.56MHz
控制方式自動(dòng)聯(lián)動(dòng)液晶觸摸屏控制
反應(yīng)室材質(zhì)鋁
反應(yīng)氣體2系統(tǒng)(Ar/02)
充填氣體N2/潔凈干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制流量計(jì)聚合控制器聚合控制器
真空泵另行選配油回旋真空泵（排氣量345L/min）油回旋真空泵（排氣量500L/min）
氣體導(dǎo)入口反應(yīng)氣體2套、填充氣體1套
高頻輸出功率Max.300WMax.500WMax.500W
溫度設(shè)定方式用上下鍵進(jìn)行數(shù)碼設(shè)定
反應(yīng)室尺寸（mm）400×250×150400×250×150500×300×200
電極尺寸（mm）250×170250×170400×200
外形尺寸（mm）540×600×600540×600×600700×700×700
電源(50/60Hz)單相AC100V 15A3相AC200V 15A3相AC200V 15A



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